[ 來(lái)源：　|　作者：本站　|　發(fā)布時(shí)間：2021-11-29 |　瀏覽：31762次 ]

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離子注入機(jī)與光刻機(jī)、刻蝕機(jī)和鍍膜機(jī)并稱(chēng)半導(dǎo)體晶圓制造四大核心裝備，開(kāi)發(fā)難度僅次于光刻機(jī)。離子注入機(jī)主要由離子源、磁分析器、加速管或減速管、聚焦和掃描系統(tǒng)、工藝腔（靶室和后臺(tái)處理系統(tǒng)）五部分組成。

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鎢鉬材料高溫化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定、熱變形小和使用壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)，因此半導(dǎo)體行業(yè)離子注入機(jī)離子源部件及耗件多采用鎢、鉬材料制造，這些器件包括發(fā)射電子的陰極屏蔽筒、弧室面板等。廈門(mén)虹鷺在鎢鉬領(lǐng)域加工領(lǐng)域深耕多年，擁有成熟的加工工藝和完備的檢測(cè)技術(shù)。經(jīng)過(guò)對(duì)傳統(tǒng)鎢鉬材料工藝進(jìn)行優(yōu)化（包括高純化、合金化處理，燒結(jié)致密化，細(xì)晶化、二次晶粒細(xì)化控軋控鍛等技術(shù)），可以顯著提高傳統(tǒng)鎢鉬材料的壽命、耐高溫及抗蠕變性能。

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半導(dǎo)體離子注入機(jī)離子源用鎢鉬棒及鎢鉬板性能特征